Перевести страницу

Научно-Производственная Фирма "ПРОГРЕСС"

ПРОИЗВОДСТВО МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЧЕСКИХ ТЕЧЕИСКАТЕЛЕЙ И ВАКУУМНОГО ОБОРУДОВАНИЯ

Установка контроля герметичности для поточных производств

При изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных микросхем различных типов немаловажным является контроль технологических процессов. Хорошо организованный контроль обеспечивает высокий процент выхода годной продукции. Одним из этапов технологического процесса изготовления является масс-спектрометрический контроль герметичности. Для решения этих задач НПФ "Прогресс" предлагает варианты технологического оборудования масс-спектрометрического контроля герметичности, адаптированного под задачи производства, позволяющее более эффективно применять метод контроля с минимизацией издержек в обслуживании, временных затрат при эксплуатации.


     Установка УКГ-4П предназначена для контроля герметичности изделий полупроводниковой, радиотехнической, электротехнической и других отраслей промышленности.

  УКГ-4П представляет собой технологическое оборудование, состоящее из 4 (по согласованию и более) вакуумных камер, высоковакуумного безмасляного поста и масс-спектрометрической части с собственной высоковакуумной откачкой, смонтированных в едином конструктиве в виде моноблока.

Установка позволяет проводить контроль герметичности несколькими способами: 

  • способ вакуумной камеры;
  • способ обдува

Установка может дополнена устройством подготовки газовой смеси "УПГС" и выполнено в едином конструктиве УКГ-4П для удобства работы оператора.

Оператором программно может быть задействовано в работе нужное количество пеналов. Информация о работе установки и результат контроля каждого пенала выводится на встроенный компьютер и отображается на цветном экране с сенсорным вводом. Стартом продолжения контроля последующего пенала является закрытие крышки загружаемого пенала. Отличительной особенностью установки является возможность управлять производительностью и чувствительностью. 

Производительность установки:

  • в высокочувствительном режиме - более 360 испытаний в час - чувствительность режима 1х10^-11 м^3Па/с.;
  • повышенная производительность - более 700 испытаний в час - чувствительность режима 5х10^-10 м^3Па/с..

 

Пеналы снабжены световой индикацией, при превышении установленного браковочного признака раздается звуковой сигнал.


Особенности:

  • чувствительность масс-спектрометрической ячейки - 5х10^-13 м^3Па/сек.;
  • возможность управления производительностью и чувствительностью;
  • темп работы (производительность) задается оператором;
  • автоматизация процессов;
  • настраиваемые алгоритмы ПО под конкретные задачи;
  • возможность изготовления пеналов любого размера по согласованию;
  • режим "пауза";
  • отсутствие кинематики (движущихся механических частей);
  • моноблочная вакуумная система;
  • отсутствие необходимости в смазке;
  • комбинация без масляных откачных агрегатов4
  • эргономика ориентирована на работу оператора сидя;
  • габаритные размеры 1100х1140х90 см.;
  • вес установки от 110 кг.;
  • потребляемая мощность 1,5 кВт.



Для оптимизации эффективности же поточного производства при возникновения нештатных ситуаций в непрерывном техпроцессе на многих предприятиях по всему миру внедряется система бережливого производства.  В первую очередь смысл этой системы в оперативном информировании о состоянии каждого конкретного технологического участка производства. Это визуализация (световая индикация), оповещение персонала при помощи пейджера или табло, вывод информации о текущем состоянии на монитор начальника производства. Предлагаем инструменты необходимые для реализации системы вызова.