Перевести страницу

Научно-Производственная Фирма "ПРОГРЕСС"

ПРОИЗВОДСТВО МАСС-СПЕКТРОМЕТРИЧЕСКИХ ТЕЧЕИСКАТЕЛЕЙ И ВАКУУМНОГО ОБОРУДОВАНИЯ

Турбомолекулярный высоковакуумный насос гибридного типа ВНГТ-5

Турбомолекулярный высоковакуумный насос гибридного типа ВНГТ-5

Особенности насоса: уникальная проточная часть; допускается прорыв атмосферы; произвольное рабочее положение в пространстве; предельное рабочее давление на выходе до 100 мм рт.ст; использование прецизионных керамических подшипников; воздушное охлаждение.

Назначение

Безмасляная откачка малогабаритных (V до 30 л) вакуумных систем, создание высокого и сверхвысокого вакуума

Область применения

Масс-спектрометрия, течеискание, ускорители элементарных частиц, ядерные исследования, производство электровакуумных и полупроводниковых приборов, атомная и ракетно-космическая промышленность, авиация, фармацевтика, пищевая промышленность.

Особенности

Проточная часть ВНГТ рассчитана таким образом, чтобы обеспечить высокую «прозрачность» для обратного потока гелия при работе течеискателя в режиме противоток. Чувствительность течеискателя при работе в противотоке достигает 5,0Е-12 м3Па/с. Однако, при этом создается достаточно большая компрессия по более тяжелым газам и ВНГТ обеспечивает безопасное для катода давление в камере анализатора при давлении на выпускном фланце до 10 000 Па.

Указанное обстоятельство позволяет проводить контроль герметичности объектов, имеющих значительные дефекты вакуумной плотности, а также применять высокопоточные щупы-пробоотборники. Применение таких щупов существенно снижает время регистрации течи. Так 10-метровый щуп, создающий давление на входном фланце течеискателя около 1000 Па, обеспечивает время отклика на гелиевую течь 10-8 м3Па/с менее 2 сек., что имеет большое значение при локализации места течи при работе способом щупа на протяженных объектах.

Технические характеристики

Предельное остаточное давление, создаваемое насосом, Па, не более


- после прогрева корпуса при температуре 100°С (373К) в течение 24ч и при форвакуумном давлении не более 1,0 Па

6,5х10-5

- без прогрева

1,5х10-4

Быстрота действия насоса при давлении запуска, не менее л/сек


- по азоту

40

- по гелию

20

Номинальная скорость вращения ротора насоса, об/мин

26000

Время разгона ротора насоса до номинальной скорости вращения, мин, не более

4

Диапазон температур рабочей среды, Со

10-120

Рабочее положение насоса в пространстве

любое

Тип охлаждения

воздушное/ водяное

Тип и размер входного патрубка насоса, мм

ISO-K 63

Тип и размер выходного патрубка насоса, мм

SO-KF16

Время непрерывной работы, час, не менее

24

Технические характеристики блока управления

Диапазон устанавливаемой частоты вращения, об/мин

20 000 – 90 000

Погрешность поддержания установленного значения частоты, не более, %

1

Дискретность установки частоты вращения, не более, об/мин

6

Время непрерывной работы, ч

24

Внешний управляющий интерфейс

RS-485, RS-232C

Напряжение питания, В

220±22

Потребляемая мощность, не более, Вт

100

Габаритные размеры, мм

220*250*80

Масса в корпусном исполнении, кг

1,7

Масса в безкорпусном исполнении, кг

0,25