Турбомолекулярный высоковакуумный насос гибридного типа ВНГТ-5
Особенности насоса: уникальная проточная часть; допускается прорыв атмосферы; произвольное рабочее положение в пространстве; предельное рабочее давление на выходе до 100 мм рт.ст; использование прецизионных керамических подшипников; воздушное охлаждение.
Назначение
Безмасляная откачка малогабаритных (V до 30 л) вакуумных систем, создание высокого и сверхвысокого вакуума
Область применения
Масс-спектрометрия, течеискание, ускорители элементарных частиц, ядерные исследования, производство электровакуумных и полупроводниковых приборов, атомная и ракетно-космическая промышленность, авиация, фармацевтика, пищевая промышленность.
Особенности
Проточная часть ВНГТ рассчитана таким образом, чтобы обеспечить высокую «прозрачность» для обратного потока гелия при работе течеискателя в режиме противоток. Чувствительность течеискателя при работе в противотоке достигает 5,0Е-12 м3Па/с. Однако, при этом создается достаточно большая компрессия по более тяжелым газам и ВНГТ обеспечивает безопасное для катода давление в камере анализатора при давлении на выпускном фланце до 10 000 Па.
Указанное обстоятельство позволяет проводить контроль герметичности объектов, имеющих значительные дефекты вакуумной плотности, а также применять высокопоточные щупы-пробоотборники. Применение таких щупов существенно снижает время регистрации течи. Так 10-метровый щуп, создающий давление на входном фланце течеискателя около 1000 Па, обеспечивает время отклика на гелиевую течь 10-8 м3Па/с менее 2 сек., что имеет большое значение при локализации места течи при работе способом щупа на протяженных объектах.
Предельное остаточное давление, создаваемое насосом, Па, не более | |
- после прогрева корпуса при температуре 100°С (373К) в течение 24ч и при форвакуумном давлении не более 1,0 Па | 6,5х10-5 |
- без прогрева | 1,5х10-4 |
Быстрота действия насоса при давлении запуска, не менее л/сек | |
- по азоту | 40 |
- по гелию | 20 |
Номинальная скорость вращения ротора насоса, об/мин | 26000 |
Время разгона ротора насоса до номинальной скорости вращения, мин, не более | 4 |
Диапазон температур рабочей среды, Со | 10-120 |
Рабочее положение насоса в пространстве | любое |
Тип охлаждения | воздушное/ водяное |
Тип и размер входного патрубка насоса, мм | ISO-K 63 |
Тип и размер выходного патрубка насоса, мм | SO-KF16 |
Время непрерывной работы, час, не менее | 24 |
Технические характеристики блока управления | |
Диапазон устанавливаемой частоты вращения, об/мин | 20 000 – 90 000 |
Погрешность поддержания установленного значения частоты, не более, % | 1 |
Дискретность установки частоты вращения, не более, об/мин | 6 |
Время непрерывной работы, ч | 24 |
Внешний управляющий интерфейс | RS-485, RS-232C |
Напряжение питания, В | 220±22 |
Потребляемая мощность, не более, Вт | 100 |
Габаритные размеры, мм | 220*250*80 |
Масса в корпусном исполнении, кг | 1,7 |
Масса в безкорпусном исполнении, кг | 0,25 |