Сильфон представляет собой гофрированную герметичную трубку, изготовленную чаще всего из нержавеющей стали. Сильфоны бывают гибкие (сильфонные шланги) и сжимаемые. Сжимаемые сильфоны можно изгибать, сжимать и растягивать, в отличие от сильфонных шлангов, которые предназначены только на изгиб. На обоих концах сильфона расположены фланцы определенного стандарта: KF (NW), ISO, CF и т.д. Сильфон обеспечивает соединение двух концов вакуумного трубопровода, которые могут совершать поступательные движения относительно друг друга. Он компенсирует тепловые перемещения трубопровода, а также гасит вибрацию.