Установка контроля герметичности для поточных производств УКГ-4П

При изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных микросхем различных типов немаловажным является контроль технологических процессов. Хорошо организованный контроль обеспечивает высокий процент выхода годной продукции. Одним из этапов технологического процесса изготовления является масс-спектрометрический контроль герметичности. Для решения этих задач НПФ "Прогресс" предлагает варианты технологического оборудования масс-спектрометрического контроля герметичности, адаптированного под задачи производства, позволяющее более эффективно применять метод контроля с минимизацией издержек в обслуживании, временных затрат при эксплуатации.

УКГ-4П представляет собой технологическое оборудование, состоящее из 4 (по согласованию и более) вакуумных камер, высоковакуумного безмасляного поста и масс-спектрометрической части с собственной высоковакуумной откачкой, смонтированных в едином конструктиве в виде моноблока.

Установка позволяет проводить контроль герметичности несколькими способами: 

• способ вакуумной камеры;
• способ обдува

Установка может дополнена устройством подготовки газовой смеси "УПГС" и выполнено в едином конструктиве УКГ-4П для удобства работы оператора.

Оператором программно может быть задействовано в работе нужное количество пеналов. Информация о работе установки и результат  контроля каждого пенала выводится на встроенный компьютер и отображается на цветном экране с сенсорным вводом. Стартом продолжения контроля последующего пенала является закрытие крышки загружаемого пенала. Отличительной особенностью установки является возможность управлять производительностью и чувствительностью. 

Производительность установки:

• в высокочувствительном режиме - более 360 испытаний в час - чувствительность режима 1х10^-11 м^3Па/с.;
• повышенная производительность - более 700 испытаний в час - чувствительность режима 5х10^-10 м^3Па/с..

Пеналы снабжены световой индикацией, при превышении установленного браковочного признака раздается звуковой сигнал.

Особенности:

• чувствительность масс-спектрометрической ячейки - 5х10^-13 м^3Па/сек.;
• возможность управления производительностью и чувствительностью;
• темп работы (производительность) задается оператором;
  
• автоматизация процессов;
• настраиваемые алгоритмы ПО под конкретные задачи;
• возможность изготовления пеналов любого размера по согласованию;
• режим "пауза";
• отсутствие кинематики (движущихся механических частей);
• моноблочная вакуумная система;
• отсутствие необходимости в смазке;
• комбинация без масляных откачных агрегатов4
• эргономика ориентирована на работу оператора сидя;
• габаритные размеры 1100х1140х90 см.;
  
• вес установки от 110 кг.;
• потребляемая мощность 1,5 кВт.

Для оптимизации эффективности же поточного производства при возникновения нештатных ситуаций в непрерывном техпроцессе на многих предприятиях по всему миру внедряется система бережливого производства.  В первую очередь смысл этой системы в оперативном информировании о состоянии каждого конкретного технологического участка производства. Это визуализация (световая индикация), оповещение персонала при помощи пейджера или табло, вывод информации о текущем состоянии на монитор начальника производства. Предлагаем инструменты необходимые для реализации системы вызова.