Комплекс определения скорости выделения гелия

Установка снабжена откачными агрегатами различных типов, в том числе агрегатом, имеющим весьма малую скорость откачки пробных газов (Н2, 3Не, 4Не) - крио сорбционным насосом, что обеспечивает возможность работы в режиме накопления и регистрации сверхмалых потоков указанных газов.

     При работе с откачными агрегатами высокой скорости откачки всего спектра масс (спиральным форвакуумным насосом высокой производительности и турбомолекулярным насосом) установка может использоваться в качестве прибора неразрушающего контроля герметичности – масс-спектрометрического течеискателя. В этом случае контроль герметичности и измерение потоков пробных газов может осуществляться всеми способами контроля: прямоток, противоток, щуп, вакуумная камера. Для калибровки измерений в приборе установлены источники эталонных потоков пробных газов 3Не и 4Не.

     Допускается работа с индикацией пробных газов других масс, до массы 40 (Ar) включительно. Однако вследствие изменения условий формирования ионного пучка чувствительность установки к потокам «тяжелых» пробных газов будет снижаться.

Основные области применения:

• измерение скорости выделения гелия из деталей и узлов;
• контроль герметичности всех видов вакуумных систем и вакуумированных объектов в процессе их изготовления и эксплуатации;
• контроль герметичности электровакуумных и полупроводниковых приборов;
• контроль герметичности различных герметизированных не откачиваемых объектов, изделий и пр.

Технические характеристики

     Установка представляет собой комбинацию высоковакуумного откачного поста, состоящего из высокопроизводительного сухого спирального форвакуумного насоса ISP-500C, высоковакуумного турбомолекулярного насоса EXT75DX, высоковакуумного крио сорбционного насоса НСЖА-0,06М оснащенных вакуумной запорной арматурой и масс-спектрометрического модуля контроля герметичности. В схеме установки применен масс-спектрометрический анализирующий модуль гелиевого течеискателя МС-4, включенного в реестр метрологического оборудования. Работа установки осуществляется в автоматическом или ручном режимах. Вывод информации и управление работой осуществляется с внешнего компьютера.

Метрологические характеристики масс-спектрометрического модуля:

• Диапазон показаний по входу установки, Па×м3/с, от - 5∙10-13 до 1∙10-1
• Диапазон измерений по входу установки, Па×м3/с, от - 7∙10-11 до 1∙10-4
• Диапазон показаний при работе способом щупа, Па×м3/с, от - 1∙10-9 до 1
• Пределы допускаемой относительной погрешности измерений по входу установки, % от измеряемой величины - ± (0,50 + Qнпи/Qизм) ∙100 %,

где Qнпи – нижний предел измерений (Qнпи=7∙10-11 Па×м3/с), Qизм – значение измеренного потока, Па×м3/с

Основным органом управления комплекса, обеспечивающим интерфейс оператора и алгоритм функционирования на верхнем уровне, является удаленный компьютер, подключаемый к системе управления через внешний помехозащищенный интерфейс RS-422. Через интерфейс передаются команды во внутренний процессор управления системы, отвечающий за выполнение команд оператора и передачу измеряемых данных, а также информации о состоянии отдельных узлов компьютеру.

     К системе управления подключаются: устройство разгерметизации и сменные измерительные камеры. Непосредственное управление работой этих узлов обеспечивает процессор управления системы управления по командам оператора в ручном режиме или в соответствии с автоматическим алгоритмом измерения.