Турбомолекулярный высоковакуумный насос гибридного типа ВНГТ-5
Назначение
Безмасляная откачка малогабаритных (V до 30 л) вакуумных систем, создание высокого и сверхвысокого вакуумаОбласть применения
Масс-спектрометрия, течеискание, ускорители элементарных частиц, ядерные исследования, производство электровакуумных и полупроводниковых приборов, атомная и ракетно-космическая промышленность, авиация, фармацевтика, пищевая промышленность.Особенности
Проточная часть ВНГТ рассчитана таким образом, чтобы обеспечить высокую «прозрачность» для обратного потока гелия при работе течеискателя в режиме противоток. Чувствительность течеискателя при работе в противотоке достигает 5,0Е-12 м3Па/с. Однако, при этом создается достаточно большая компрессия по более тяжелым газам и ВНГТ обеспечивает безопасное для катода давление в камере анализатора при давлении на выпускном фланце до 10 000 Па.Указанное обстоятельство позволяет проводить контроль герметичности объектов, имеющих значительные дефекты вакуумной плотности, а также применять высокопоточные щупы-пробоотборники. Применение таких щупов существенно снижает время регистрации течи. Так 10-метровый щуп, создающий давление на входном фланце течеискателя около 1000 Па, обеспечивает время отклика на гелиевую течь 10-8 м3Па/с менее 2 сек., что имеет большое значение при локализации места течи при работе способом щупа на протяженных объектах.
|
Предельное остаточное давление, создаваемое насосом, Па, не более |
|
|
- после прогрева корпуса при температуре 100°С (373К) в течение 24ч и при форвакуумном давлении не более 1,0 Па |
6,5х10-5 |
|
- без прогрева |
1,5х10-4 |
|
Быстрота действия насоса при давлении запуска, не менее л/сек |
|
|
- по азоту |
40 |
|
- по гелию |
20 |
|
Номинальная скорость вращения ротора насоса, об/мин |
26000 |
|
Время разгона ротора насоса до номинальной скорости вращения, мин, не более |
4 |
|
Диапазон температур рабочей среды, Со |
10-120 |
|
Рабочее положение насоса в пространстве |
любое |
|
Тип охлаждения |
воздушное/ водяное |
|
Тип и размер входного патрубка насоса, мм |
ISO-K 63 |
|
Тип и размер выходного патрубка насоса, мм |
SO-KF16 |
|
Время непрерывной работы, час, не менее |
24 |
|
Технические характеристики блока управления |
|
|
Диапазон устанавливаемой частоты вращения, об/мин |
20 000 – 90 000 |
|
Погрешность поддержания установленного значения частоты, не более, % |
1 |
|
Дискретность установки частоты вращения, не более, об/мин |
6 |
|
Время непрерывной работы, ч |
24 |
|
Внешний управляющий интерфейс |
RS-485, RS-232C |
|
Напряжение питания, В |
220±22 |
|
Потребляемая мощность, не более, Вт |
100 |
|
Габаритные размеры, мм |
220*250*80 |
|
Масса в корпусном исполнении, кг |
1,7 |
|
Масса в безкорпусном исполнении, кг |
0,25 |