Технические характеристики:

• Методы испытаний: Вакуумный метод и метод щупа
• Рабочие газы: 4He, 3He, H2
• Минимальный регистрируемый поток Гелия (вакуумный метод):  5*10-13 Па*м3/с
• Минимальный регистрируемый поток Гелия (метод щупа): <5*10-9 Па*м3/с
• Рекомендуемая скорость форвакуумной откачки: 3 м3/ч
• Скорость откачки по Гелию на входном фланце: 5 л/с
• Максимальное рабочее давление режим противотока: 1000 Па
• Максимальное рабочее давление режим прямотока: 100Па
• Время выхода на рабочий режим (20°C): < 5 мин
• Интерфейсы: RS-232, USB
• I/O интерфейсы: Дискретные входы/выходы, аналоговые выходы
• Электропитание: 220 В, 50 Гц
• Максимальная потребляемая мощность: 300 Вт

Размеры:

• Вакуумный модуль: 410 x 150 x 220 мм
• Модуль электроники: 150 x 250 x 150 мм
• Панель управления: 250 x 60 x 150 мм

Вес:

• Вакуумный модуль: 10 кг
• Модуль электроники: 3 кг
• Панель управления: 1.5 кг